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洁净气体过滤器 SF
产品详情

    

参数:

类型   系列/CAD 使用压力   过滤精度

 卡盘式

圆盘式


 卡盘式

直筒式

 SFA100/200/300


SFB100

 Max.1.0MPa

(真空:1.3×10-6kPa)


 Max.1.0MPa

(真空:1.3×10-6kPa)

 0.01μm(捕捉效率99.99%)

  

特长:可更换滤芯的卡盘式。

 
 一次性使用式

直筒式


 一次性使用式

多层盘式

   SFB300


 SFC100

  Max.15MPa

(真空:1.3×10-6kPa)


 Max.1.8MPa

(真空:1.3×10-6kPa)

  0.01μm(捕捉效率99.99%)

 


特长:用于半导体工艺的一次性使用式。

 

卡盘式

直筒式

洁净气体滤网

SFB200

Max.1.0MPa

(真空:1.3×10-6kPa)

 120μm


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