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洁净/低发尘/无铜离子/无氟离子
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洁净气体过滤器 SF
产品详情
参数：
| 类型 | 系列/CAD | 使用压力 | 过滤精度 |
卡盘式 圆盘式 卡盘式 直筒式 |
SFA100/200/300 SFB100
|
Max.1.0MPa (真空：1.3×10-6kPa) Max.1.0MPa (真空：1.3×10-6kPa) |
0.01μm(捕捉效率99.99%) |
特长:可更换滤芯的卡盘式。 |
|||
一次性使用式
直筒式 一次性使用式 多层盘式 |
SFB300 SFC100
|
Max.15MPa
(真空：1.3×10-6kPa) Max.1.8MPa (真空：1.3×10-6kPa) |
0.01μm(捕捉效率99.99%) |
|
特长:用于半导体工艺的一次性使用式。 |
||
卡盘式 直筒式 洁净气体滤网 |
SFB200 | Max.1.0MPa (真空：1.3×10-6kPa) |
120μm |
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邮箱：jkl-sh-2000@hotmail.com 网址：www.smc-sh-net ICP备案号：沪ICP备12001363号-1
主营：SMC代理，SMC官网，SMC总代理，CKD，CKD代理
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